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洁净车间对环境有着怎样的严格要求?

人气:1168 发表时间:2021-05-21

河北洁净车间消除了一定空间内空气中的颗粒,有害空气,细菌和其他污染物,并根据一定的需求控制室内温度,清洁度,压力,空气流速和空气分布,噪声,振动,照明和静电 范围内的工程学科。 洁净室经过特殊设计的房间能够保持原始设定要求的洁净度,温度,湿度和压力,而不受外部空气条件的变化的影响。 这比使用湍流来描述湍流洁净室更为准确和全面。 湍流主要由雷诺数决定,洁净室也主要受流速影响。 但是,如果使用高效的过滤器顶送空气供应形式,则即使流速极低,也将产生上述结果。 这是因为它是突然流动和不均匀流动。 因此,在这种情况下,不仅由于湍流引起流体层之间的混合,而且由于整个室内的大的回流和涡旋而引起的混合。  

 

特定过程的温度要求将在后面列出。 洁净室,但作为一般原则,随着加工精度的提高,对温度波动范围的要求越来越小。 例如,在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,要求玻璃和作为掩模材料的硅晶片的热膨胀系数之间的差越来越小。 当温度升高1度时,直径为100 um的硅晶片将引起0.24 um的线性膨胀。 因此,它必须具有±0.1度的恒定温度。 同时,通常要求湿度值要低,因为人出汗后,产品将被污染和清洁。 房间尤其是怕钠的半导体车间,这种车间不应超过25度。