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河北净化车间如何控制车间中的湿度?

人气:1201 发表时间:2021-07-05

洁净室的湿度关键是依据加工工艺标准来确定的,但在考虑加工工艺规定的标准下,应充分考虑人员的舒适感。随之空气洁净度要求的提升,出現了加工工艺对温度湿度的规定也愈来愈严。总体标准看,因为生产加工精密度愈来愈细致,因此对溫度起伏范畴的规定愈来愈小。比如在大规模集成电路生产的光刻曝光加工工艺中,做为掩膜板原材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差规定愈来愈小。直徑100 um的硅片,溫度升高1度,就造成了0.24um线形澎涨,因此务必有±0.1度的控温,另外环境湿度值通常较低,由于人流汗之后,对产品将有污染,尤其是怕钠的半导体材料生产车间,这类车间不宜超出25度。

环境湿度过高造成的问题会很多。空气相对湿度超出55%时,冷却水管壁上将会结露,假如出现在高精密设备或电源电路中,就会造成各种各样安全事故。空气湿度在50%易锈蚀。除此之外,环境湿度太高时将根据空气中的水分子把硅片表层黏着的尘土化学吸咐在表层不好消除。空气湿度越高,黏附的越难除掉,但当空气湿度小于30%时,又因为静电力的功效使粒子也非常容易吸咐于表层,同时大量半导体器件非常容易产生热击穿。针对硅片生产制造溫度范畴为35—45%。